会社紹介

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SiCアライアンスへの参加の趣旨・期待

地球温暖化やエネルギー問題など地球レベルでの環境問題の解決は人類にとって急務ですが、なかでも省エネに大きく寄与する技術が高性能パワー半導体であり、東京エレクトロンでは、技術で環境問題に取り組むという概念のもと、このパワー半導体の一つである炭化珪素半導体（SiC）向けプロセス装置市場に参入いたしました。平成22年6月にリリースした「Probus－SiC」は、京都大学、ローム株式会社様との共同開発の成果に加え、弊社が培ってきた半導体製造技術を応用したエピタキシャル膜成長装置です。今後も、技術の進歩、市場のニーズにあわせて、さらなる高性能・高生産性を追求してまいりますが、SiCアライアンスはその情報源の場として活用させていただき、会員の皆様にはその成果を発信してまいります。またエピタキシー技術のみならず、弊社が貢献できる関連技術を模索する機会として、会員の皆様と情報交換をさせていただきたく存じます。今後とも宜しくお願い申し上げます。