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基礎知識資料集

 

デバイス・プロセス分野

ワイヤーソーの搖動(rocking)方式

ワイヤーソーでは、刃であるワイヤーが直進走行する方向に切り子と加工液が追従移動して切断が進む仕組みとなっている。しかし、加工液の供給と切り子の排出は大口径切断、高速切断になるに従い効率が悪くなり、切断厚みばらつきやSORI値など切断品質が落ちる原因となる。そこで、加工ワークを切断する際にワイヤーの侵入・排出角をスピンドル軸もしくはワークを揺動させることでこれらの問題を解決する方式が開発された。この時、揺動軸はワイヤーの進行方向に対し高精度に垂直配置する必要があり、装置剛性や装置制御システムなど高度な技術が求められる。また、揺動動作によってワイヤーへの応力負荷の軽減、加工熱の冷却効率改善など、切断能率や消耗品寿命の改善などの効果もある。

(加藤智久)