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基礎知識資料集

 

材料分野

トワイマン効果

ウェハなど基板状の面に切断・研磨など機械的な加工を施すと、加工変質層が導入されその面が膨張するように反り返る現象がある。この加工面が及ぼす形状変化への影響をトワイマン効果と言う。トワイマン効果は基板面の加工ダメージが大きいほどその影響は大きい。基板両面における加工変質層が発する応力状態のバランスでウェハの形状が決定されることとなり、ウェハ本来の形状を管理するためには各種加工工程の応力を確実に除去した品質管理が必要がある。

(加藤智久)