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SiCアライアンスの紹介

独立行政法人物質・材料研究機構

研究機関・団体の紹介

【HPアドレス】 http://www.nims.go.jp/

 物質・材料研究機構(NIMS)は、物質・材料研究を総合的かつ専門的に行う独立行政法人の研究機関です。使われてこそ材料をモットーに、金属・セラミックス・半導体・有機・生体材料と、幅広い材料の研究を行なっています。

SiCアライアンスへの参加の趣旨・期待

 我々半導体材料センターでは、SiC材料の研究を推進する一助となるべく、SiCアライアンスへ参加しました。我々が行なっているのは、半導体材料中の欠陥を評価し、これを制御することで、材料の高品質化・高機能化を目指す研究です。SiCがパワーデバイスとして普及するためには、安価で高品質なSiCウエハが開発されることが必要不可欠です。結晶成長技術の向上により、長らくSiC素子の実用化を阻んできたマイクロパイプをなくすことはできましたが、貫通転位や積層欠陥など、素子の耐圧を下げる原因となる欠陥はまだ完全に取り除けたわけではありません。さらにダウンフォールやキャロットといった新しい欠陥や、プロセス起因の欠陥を抑えることが、SiC素子の性能や信頼性を上げるために必要不可欠です。我々は、欠陥評価と制御の観点から、SiC材料の高品質化低価格化に取り組みます。